一、測試前準備

1. 系統成功的的通過了保壓檢漏。

2. 確認系統的所有部件都能承受得住真空狀態而不損壞。

3. 先對測漏儀本身閥組及連接管路進行漏率檢測。

4. 氦質譜檢漏儀與系統管路接通前，要將被測系統內的氣體釋放掉。

5. 緩緩打開測漏儀入口處的閥門，將測漏儀與管路系統隔離閥之間的管路抽真空，直至測漏儀顯示的背景漏率低于 1× 10-9 mbar.l/s。

6. 對連接管路上所有的焊道及機械連接處進行氦氣噴吹。

二、測試方法

1. 確認系統中所有的閥門和調壓閥都是全開的。

2. 確認系統中的壓力為0，如果系統中還有正壓，要先將系統中的氣體放掉。

3. 緩緩打開檢漏儀入口處的閥門，開始將系統抽成真空狀態。遵照檢漏儀的操作說明操作，直至達到可以檢測的狀態。

4. 記錄下檢漏儀的背景氦漏率，該背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后，才可以進行噴吹工作。

5. 從最靠近檢漏儀的焊道或連接處開始檢測，將氦氣用噴槍噴吹到焊道或連接處，使得氦氣會停留在焊道或連接處一段時間，確認沒有泄漏后，進行下一個焊道或連接處的檢測，直到最后一個焊道或連接處。

6. 如果發現檢漏儀的指示值有上升的現象，待到檢漏儀讀值恢復正常后，重新檢測該焊道或連接處以確認其是否真的有漏，如果確認不是該焊道或連接處有漏，要依次檢測該焊道或連接處之前的焊道或連接處，直到找到漏點為止。

7. 直至所有的接點都被檢測到，檢測合格的接點要貼合格標志。所有的接點都噴吹過氦氣后，繼續觀察檢漏儀的讀值10分鐘左右，確認讀值沒有異常后才可以將系統與儀器之間分離開。

8. 如果每個接點的氦氣漏率都低于1× 10-9 mbar.l/s，說明該系統的漏率是符合要求的。測試人員可以將檢測結果記錄在檢測報告里了。

9. 將檢漏儀與系統分開。